Verfahren zum Verarbeiten eines High-K-Dielektrikums zur Cet-Skallierung

EP2176879 Art A1 21. April 2010

Anmelder: Freescale Semiconductor, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2176879
Aktenzeichen
EP08771155
Anmeldetag
16. Juni 2008
Veröffentlichung
21. April 2010
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/31H01L21/336H01L29/78H01L29/423
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Freescale Semiconductor, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Freescale Semiconductor

Ehemaliger US-amerikanischer Halbleiterhersteller, hervorgegangen aus einem Spin-off von Motorola, mit Schwerpunkt auf Mikrocontrollern und eingebetteten Prozessoren. Seit 2015 Teil von NXP Semiconductors.

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