Trägervorrichtung, Belichtungsvorrichtung, Belichtungsverfahren und Verfahren zur Herstellung eines Artikels

EP2177867 Art B1 20. April 2016

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2177867
Aktenzeichen: EP08791197
Anmeldetag: 16. Juli 2008
Veröffentlichung: 20. April 2016
Erteilung: 20. April 2016
Rechtsraum: EP
IPC: G01B11/00G01B9/02G03F7/20H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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