Herstellungsverfahren eines seitlichen elektrooptischen Modulators auf Silizium mit selbstausgerichteten, dotierten Bereichen

EP2177944 Art B1 19. Juli 2017

Anmelder: Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives, Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives, COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2177944
Aktenzeichen
EP09172882
Anmeldetag
13. Oktober 2009
Veröffentlichung
19. Juli 2017
Erteilung
19. Juli 2017
Rechtsraum
EP
IPC
G02F1/025H01L21/266G02B6/134
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 CEA (Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives)

Französisches staatliches Forschungsinstitut mit Sitz in Paris (Verwaltung) und Standorten wie Grenoble und Saclay. Forscht in Kernenergie, erneuerbaren Energien, Mikroelektronik, Werkstoffwissenschaften, Verteidigungstechnik und Informationstechnologien.

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