Verfahren zur Plasmaverarbeitung und Vorrichtung zur Plasmaverarbeitung

EP2178109 Art A1 21. April 2010

Anmelder: ULVAC, INC. 🇯🇵

Details

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

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Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von

Albutt, Anthony John London, Großbritannien

1.129

Patente gesamt

Fachgebiete

Anmelder-Länder

Schwerpunkte

Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen) Fahrzeugtechnik (Automobil, Bahn & Schiff) Maschinenelemente & Fluidtechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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