Verfahren und Vorrichtung zur Messung von Streulicht auf einem Optischen System

EP2179328 Art B1 1. Oktober 2014

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH, Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2179328
Aktenzeichen: EP08785405
Anmeldetag: 7. August 2008
Veröffentlichung: 1. Oktober 2014
Erteilung: 1. Oktober 2014
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Carl Zeiss SMT GmbH
Carl Zeiss SMT AG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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