Drehbarer Sputtertarget-Sicherungszylinder, drehbares Sputtertarget, Herstellungsverfahren und Verfahren zur Wiederherstellung eines drehbaren Sputtertargets und Beschichtungsanlage
EP2180502
Art A1
28. April 2010
Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2180502
- Aktenzeichen
- EP09173978
- Anmeldetag
- 23. Oktober 2009
- Veröffentlichung
- 28. April 2010
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/34C23C14/34
Abstract
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Anmelder
- Firma
- Applied Materials, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Applied Materials
US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.
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