Steuerbares Optisches Element und Verfahren zum Betrieb eines Optischen Elements mit Thermischen Stellgliedern und Projektionsbelichtungsvorrichtung für die Halbleiterlithografie
EP2181357
Art A1
5. Mai 2010
Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH, Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2181357
- Aktenzeichen
- EP08749341
- Anmeldetag
- 6. Mai 2008
- Veröffentlichung
- 5. Mai 2010
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G02F7/00G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Carl Zeiss SMT GmbH
Carl Zeiss SMT AG - Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
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Kanzlei
Raunecker Patent
Ulm, Deutschland
Raunecker Patent ist eine Patentanwälte-Partnerschaft mit Hauptsitz in Ulm und Standorten in München und Markdorf, die beim Schutz technischer Erfindungen, bei Patent-, Marken- und Designanmeldungen sowie bei Markenüberwachung und Lizenzvereinbarungen begleitet.
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