Gashandhabungssystem für eine Euv-Lichtquelle auf der Basis von Lasererzeugtem Plasma

EP2181448 Art B1 31. Oktober 2018

Anmelder: ASML Netherlands B.V., ASML Netherlands BV, Cymer, LLC, Cymer, Inc. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2181448
Aktenzeichen: EP08795347
Anmeldetag: 15. August 2008
Veröffentlichung: 31. Oktober 2018
Erteilung: 31. Oktober 2018
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20H05G2/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: ASML Netherlands B.V.
ASML Netherlands BV
Cymer, LLC
Cymer, Inc.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Optik & Fototechnik

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