Verfahren zur Herstellung eines Dünnfilms und Vorrichtung zu dessen Herstellung

EP2181459 Art A1 5. Mai 2010

Anmelder: SNU R&DB Foundation 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2181459
Aktenzeichen
EP08793309
Anmeldetag
19. August 2008
Veröffentlichung
5. Mai 2010
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/205
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
SNU R&DB Foundation
Land
🇰🇷 Südkorea
🇰🇷 SNU R&DB Foundation

Südkoreanische Stiftung der Seoul National University für Forschungsförderung und Technologietransfer, verwaltet Patente und Kooperationen mit der Industrie.

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