Atomlagenabscheidung (ald) mit Hilfe von Metallamidinaten

EP2182088 Art B1 17. Juli 2013

Anmelder: President and Fellows of Harvard College 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2182088
Aktenzeichen
EP10150011
Anmeldetag
14. November 2003
Veröffentlichung
17. Juli 2013
Erteilung
17. Juli 2013
Rechtsraum
EP
IPC
C23C16/06C23C16/18C07F19/00C07C237/00C23C16/40
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
President and Fellows of Harvard College
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Harvard University

US-amerikanische Elite-Universität mit Sitz in Cambridge, Massachusetts. Harvard betreibt Forschung und Patentierung in zahlreichen Feldern, insbesondere Biotechnologie, Medizin, Life Sciences und Materialwissenschaften.

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