Antriebsverfahren und Antriebssystem für einen Beweglichen Körper, Strukturformungsverfahren und Vorrichtung, Belichtungsverfahren und Vorrichtung, Positionssteuerungsverfahren und Positionssteuerungssystem sowie Geräteherstellungsverfahren

EP2183645 Art A2 12. Mai 2010

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2183645
Aktenzeichen: EP08791852
Anmeldetag: 23. Juli 2008
Veröffentlichung: 12. Mai 2010
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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