Mobilobjekt-Ansteuerverfahren, Mobilobjekt-Ansteuersystem, Strukturerzeugungsverfahren und Vorrichtung, Belichtungsverfahren und Vorrichtung und Bauelementeherstellungsverfahren

EP2184768 Art B1 9. September 2015

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2184768
Aktenzeichen: EP08790263
Anmeldetag: 24. Juli 2008
Veröffentlichung: 9. September 2015
Erteilung: 9. September 2015
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/027G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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