Halbleiteranordnung und Verfahren zu Ihrer Herstellung
Anmelder: National University Corporation Tohoku University, Tokyo Electron Limited, Ube Industries, Ltd., UBE Nitto Kasei Co., Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2184775
- Aktenzeichen
- EP08792454
- Anmeldetag
- 14. August 2008
- Veröffentlichung
- 12. Mai 2010
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/76H01L21/312H01L21/3205H01L21/768H01L21/8238H01L27/08H01L27/092
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- National University Corporation Tohoku University
Tokyo Electron Limited
Ube Industries, Ltd.
UBE Nitto Kasei Co., Ltd. - Land
- 🇯🇵 Japan
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.
2.414 Patente in unserer Datenbank
Ube Industries war ein japanischer Mischkonzern mit Sitz in Ube, tätig in den Bereichen Chemie, Zement und Maschinenbau. Das Unternehmen firmiert seit 2022 als UBE Corporation.
801 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Boehmert & Boehmert geht auf die Zulassung von Dr. Karl Boehmert 1931 in Berlin zurück. Mit Standorten in Deutschland, Alicante, Paris und Shanghai bietet die Kanzlei IP aus einer Hand und legt besonderen Wert auf persönliche Mandantenbetreuung statt Anonymität.