Zusammensetzungen und Verfahren zum Modifizieren einer für Halbleiterherstellung Geeigneten Oberfläche

EP2186121 Art B1 17. Mai 2017

Anmelder: 3M Innovative Properties Company 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2186121
Aktenzeichen: EP08781482
Anmeldetag: 8. Juli 2008
Veröffentlichung: 17. Mai 2017
Erteilung: 17. Mai 2017
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/3105H01L21/321C09G1/02B24B37/04B24B37/24

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: 3M Innovative Properties Company
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 3M Innovative Properties

US-amerikanische Tochtergesellschaft des Mischkonzerns 3M, verwaltet Patente und geistiges Eigentum für Produkte aus Bereichen Klebetechnik, Materialwissenschaft und Konsumgüter.

17.130 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

Vertreten von