Vorrichtung und Verfahren zur Regelung eines Gasstroms oder dergleichen

EP2186920 Art A1 19. Mai 2010

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2186920
Aktenzeichen
EP08167290
Anmeldetag
22. Oktober 2008
Veröffentlichung
19. Mai 2010
Rechtsraum
EP
IPC
C23C14/24C23C16/448C30B23/06
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Applied Materials, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Kanzlei
Iridium IP Mannheim, Deutschland

Iridium IP, Patentanwaltskanzlei in Mannheim unter Leitung von Dr. Armin Hamel, europäischer Patentanwalt, vertritt vor dem Europäischen Patentamt sowie als Marken- und Designvertreter, deckt Patent-, Marken-, Lizenz- und Urheberrecht ab.

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