Verfahren zum Bilden einer mehrstufigen Oberfläche auf einem Substrat mit Bereichen unterschiedlicher Benetzbarkeit und Halbleitervorrichtung damit
EP2187263
Art A1
19. Mai 2010
Anmelder: Nederlandse Organisatie voor toegepast- natuurwetenschappelijk onderzoek TNO, Nederlandse Organisatie voor toegepast-natuurwetenschappelijk onderzoek TNO 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2187263
- Aktenzeichen
- EP08169031
- Anmeldetag
- 13. November 2008
- Veröffentlichung
- 19. Mai 2010
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/00B29C59/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Nederlandse Organisatie voor toegepast- natuurwetenschappelijk onderzoek TNO
Nederlandse Organisatie voor toegepast-natuurwetenschappelijk onderzoek TNO - Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
TNO (Nederlandse Organisatie voor toegepast-natuurwetenschappelijk onderzoek)
Niederländisches, unabhängiges Forschungsinstitut für angewandte Naturwissenschaften mit Sitz in Den Haag. TNO betreibt anwendungsorientierte Forschung und Entwicklung in Bereichen wie Energie, Mobilität, Gesundheit, Verteidigung und Informationstechnologie.
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Vertreten von
Hatzmann, Martin
Den Haag, Niederlande
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