Positionsmesssystem, Belichtungsgerät, Positionsmessverfahren, Belichtungsverfahren und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
EP2187430
Art B1
3. Oktober 2018
Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2187430
- Aktenzeichen
- EP08776874
- Anmeldetag
- 24. Juli 2008
- Veröffentlichung
- 3. Oktober 2018
- Erteilung
- 3. Oktober 2018
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20H01L21/68G01B11/00H01L21/027
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Nikon Corporation
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Nikon
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.
3.320 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Bachelin, Karl Martin Raimund
München, Deutschland
29
Patente gesamt
18
Fachgebiete
9
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Hoffmann Eitle
Hoffmann Eitle · München