Reflektiver Maskenrohling, reflektive Maske und Verfahren zur Herstellung des Maskenrohling und Maske

EP2189842 Art B1 23. August 2017

Anmelder: HOYA CORPORATION, Hoya Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2189842
Aktenzeichen: EP10155359
Anmeldetag: 11. April 2003
Veröffentlichung: 23. August 2017
Erteilung: 23. August 2017
Rechtsraum: EP
IPC: G03F1/24H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: HOYA CORPORATION
Hoya Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hoya

Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, aktiv in den Bereichen optische Gläser, Halbleiterfotomasken und medizinische Endoskopie- sowie Augenheilkundeprodukte.

701 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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