Verfahren zur Herstellung einer Dünnschicht aus Halbleitermaterial

EP2190010 Art A2 26. Mai 2010

Anmelder: Soitec, S.O.I. Tec Silicon on Insulator Technologies 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2190010
Aktenzeichen
EP10155844
Anmeldetag
11. August 2003
Veröffentlichung
26. Mai 2010
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/66
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Soitec
S.O.I. Tec Silicon on Insulator Technologies
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 Soitec

Französischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Bernin, spezialisiert auf Silicon-on-Insulator (SOI) Substrate. Patente decken Halbleitermaterialien und Waferbondtechnik ab.

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