Kupfer-Cmp-Zusammensetzung mit Ionischem Polyelektrolyt und Verfahren

EP2190947 Art A1 2. Juni 2010

Anmelder: Cabot Microelectronics Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2190947
Aktenzeichen
EP08795428
Anmeldetag
19. August 2008
Veröffentlichung
2. Juni 2010
Rechtsraum
EP
IPC
C09K13/00H01L21/302H01L21/321C09G1/02C09K3/14
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Cabot Microelectronics Corporation
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Cabot Microelectronics

Cabot Microelectronics war ein US-amerikanischer Hersteller von Polierchemikalien für die Halbleiterfertigung und ist heute Teil von Entegris. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Farben, Klebstoffe und Brennstoffe sowie Halbleiterbauelemente, mit Bezug zur Werkzeug- und Fertigungstechnik. Die Anmeldungen bis 2019 betreffen unter anderem CMP-Zusammensetzungen für die Chip-Planarisierung.

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