Verfahren zur Herstellung von Dünnen Filmen durch Atomlagenabscheidung unter Verwendung von Monocyclopentadnieyltriaminozirconium-Vorläufern

EP2191034 Art B1 13. März 2013

Anmelder: Sigma-Aldrich Co. LLC, Sigma Aldrich Co. LLC, Sigma-Aldrich Co. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2191034
Aktenzeichen
EP08799401
Anmeldetag
10. September 2008
Veröffentlichung
13. März 2013
Erteilung
13. März 2013
Rechtsraum
EP
IPC
C23C16/455
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Sigma-Aldrich Co. LLC
Sigma Aldrich Co. LLC
Sigma-Aldrich Co.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Sigma-Aldrich

Sigma-Aldrich ist ein US-amerikanischer Anbieter von Chemikalien und Life-Science-Produkten und gehört seit 2015 zum deutschen Merck-Konzern. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Pharma-/Biotechnologie und organische Chemie, ergänzt durch Messtechnik und Metallurgie. Die Anmeldungen von 2000 bis 2025 betreffen unter anderem Ramanspektroskopie zur Prozessüberwachung und die Herstellung von Lipid-Nanopartikeln.

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