Strahlungsquelle

EP2191698 Art B1 3. Oktober 2012

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2191698
Aktenzeichen
EP08806915
Anmeldetag
20. August 2008
Veröffentlichung
3. Oktober 2012
Erteilung
3. Oktober 2012
Rechtsraum
EP
IPC
H05G2/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ASML Netherlands B.V.
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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