Einrichtung zum Halten eines Substrats

EP2192608 Art A1 2. Juni 2010

Anmelder: Canon Kabushiki Kaisha 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2192608
Aktenzeichen: EP10151068
Anmeldetag: 9. März 2001
Veröffentlichung: 2. Juni 2010
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/00H01L21/687G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Canon Kabushiki Kaisha
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Canon

Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, der Kameras, Objektive, Drucker, Kopiergeräte sowie optische und medizinische Bildgebungstechnik entwickelt und herstellt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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