Verfahren und System zur Messung Nanoskaliger Verformungen

EP2193360 Art B1 5. November 2014

Anmelder: Centre National de la Recherche Scientifique 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2193360
Aktenzeichen
EP08853292
Anmeldetag
17. September 2008
Veröffentlichung
5. November 2014
Erteilung
5. November 2014
Rechtsraum
EP
IPC
G01N23/20H01J37/26H01J37/295H01L21/66
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Centre National de la Recherche Scientifique
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)

Französische staatliche Forschungsorganisation mit Sitz in Paris. Betreibt Grundlagen- und angewandte Forschung in nahezu allen wissenschaftlichen Disziplinen über zahlreiche Institute und Labore.

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