Vorrichtung zur Plasmaunterstützten Chemischen Gasphasenabscheidung mit Hoher Frequenz unter Atmosphärischem Druck sowie Anwendungen dafür
EP2195472
Art A1
16. Juni 2010
Anmelder: L'Air Liquide Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2195472
- Aktenzeichen
- EP08837638
- Anmeldetag
- 16. September 2008
- Veröffentlichung
- 16. Juni 2010
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/511H05H1/46H05H1/24H01J37/32
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- L'Air Liquide Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude
- Land
- 🇫🇷 Frankreich
🇫🇷
Air Liquide
Französischer Konzern für Industriegase und medizinische Gase, gegründet 1902 auf Basis des Luftverflüssigungsverfahrens von Georges Claude. Beliefert Industrie, Gesundheitswesen und Elektronikfertigung mit Gasen und Anlagentechnik.
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