Vorrichtung zur Ablenkung oder Einlenkung eines Teilchenstrahls

EP2195821 Art B9 11. Juni 2014

Anmelder: Carl Zeiss Microscopy GmbH, Carl Zeiss NTS GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2195821
Aktenzeichen
EP08834787
Anmeldetag
26. September 2008
Veröffentlichung
11. Juni 2014
Erteilung
11. Juni 2014
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/147H01J37/02H01J37/14H01J37/317H01J37/04H01J37/30B82Y10/00B82Y40/00
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen
Carl Zeiss Microscopy GmbH
Carl Zeiss NTS GmbH
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Carl Zeiss Microscopy GmbH

Deutscher Hersteller von Mikroskopen und Bildgebungssystemen für Forschung und Industrie, Teil der Zeiss-Gruppe.

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