Polymerhaltige Zusammensetzung mit einer Stickstoffhaltigen Silylgruppe zur Bildung eines Resistunterschichtfilms

EP2196854 Art B1 6. November 2013

Anmelder: Nissan Chemical Industries, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2196854
Aktenzeichen: EP08831233
Anmeldetag: 10. September 2008
Veröffentlichung: 6. November 2013
Erteilung: 6. November 2013
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/11H01L21/027G03F7/09G03F7/075

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nissan Chemical Industries, Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nissan Chemical Corporation

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio, das agrochemische Wirkstoffe, elektronische Materialien sowie Feinchemikalien für die Halbleiterindustrie herstellt. Das Unternehmen wurde 1887 gegründet und hieß bis 2015 Nissan Chemical Industries.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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