Halbleitersubstrat und Halbleiteranordnung
EP2197023
Art A1
16. Juni 2010
Anmelder: National University Corporation Tohoku University, Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2197023
- Aktenzeichen
- EP08835197
- Anmeldetag
- 6. Oktober 2008
- Veröffentlichung
- 16. Juni 2010
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/02H01L29/78H01L29/04// H01L21/324
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- National University Corporation Tohoku University
Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Shin-Etsu Handotai
Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.
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Fachgebiete
Vertreten von
-
Glawe, Delfs, Moll
Glawe Delfs Moll · Hamburg