Belichtungsvorrichtung, Belichtungsverfahren und Vorrichtungsherstellungsverfahren
EP2199859
Art B1
28. Februar 2018
Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2199859
- Aktenzeichen
- EP10003902
- Anmeldetag
- 27. Dezember 2004
- Veröffentlichung
- 28. Februar 2018
- Erteilung
- 28. Februar 2018
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Nikon Corporation
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Nikon
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.
5.286 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Wiebusch, Manfred
Bielefeld, Deutschland
247
Patente gesamt
28
Fachgebiete
10
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Ter Meer Steinmeister & Partner
Ter Meer Steinmeister & Partner · München