Verfahren zum Herstellen Dünner Titanhaltiger Filme mittels Atomlagenabscheidung (ald) unter Verwendung von auf Monocyclopentadienyl Titan-Basierenden Vorläuferverbindungen
EP2201149
Art A1
30. Juni 2010
Anmelder: Sigma-Aldrich Co. LLC, Sigma Aldrich Co. LLC, Sigma-Aldrich Co. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2201149
- Aktenzeichen
- EP08799400
- Anmeldetag
- 10. September 2008
- Veröffentlichung
- 30. Juni 2010
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/455
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Sigma-Aldrich Co. LLC
Sigma Aldrich Co. LLC
Sigma-Aldrich Co. - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Sigma-Aldrich
Sigma-Aldrich ist ein US-amerikanischer Anbieter von Chemikalien und Life-Science-Produkten und gehört seit 2015 zum deutschen Merck-Konzern. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Pharma-/Biotechnologie und organische Chemie, ergänzt durch Messtechnik und Metallurgie. Die Anmeldungen von 2000 bis 2025 betreffen unter anderem Ramanspektroskopie zur Prozessüberwachung und die Herstellung von Lipid-Nanopartikeln.
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Brown, David Leslie
Bristol, Großbritannien
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