Optisches Membranelement
EP2201426
Art B1
4. Mai 2016
Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH, Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2201426
- Aktenzeichen
- EP08835098
- Anmeldetag
- 1. Oktober 2008
- Veröffentlichung
- 4. Mai 2016
- Erteilung
- 4. Mai 2016
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F1/64G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Carl Zeiss SMT GmbH
Carl Zeiss SMT AG - Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
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Fachgebiete
Kanzlei
LangPatent Anwaltskanzlei IP Law Firm
München, Deutschland
LangPatent Anwaltskanzlei wird von Dr.-Ing. Christian Lang geleitet und sitzt im Münchner Norden. Die international ausgerichtete Kanzlei begleitet Patent-, Marken- und Designangelegenheiten von der Anmeldung bis zur gerichtlichen Durchsetzung, mit einem Team aus Wissenschaftlern, Ingenieuren und fremdsprachigen Fachkräften.
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