Verfahren zur Behandlung der Oberfläche mindestens eines Teils mittels Einzelner Quellen eines Elektronen-Zyklotron-Resonanz-Plasmas

EP2201593 Art B1 1. Februar 2017

Anmelder: H.E.F. 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2201593
Aktenzeichen
EP08842172
Anmeldetag
9. Oktober 2008
Veröffentlichung
1. Februar 2017
Erteilung
1. Februar 2017
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/32H05H1/46
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
H.E.F.
Land
🇫🇷 Frankreich
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