Verfahren zur Behandlung der Oberfläche mindestens eines Teils mittels Einzelner Quellen eines Elektronen-Zyklotron-Resonanz-Plasmas
EP2201593
Art B1
1. Februar 2017
Anmelder: H.E.F. 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2201593
- Aktenzeichen
- EP08842172
- Anmeldetag
- 9. Oktober 2008
- Veröffentlichung
- 1. Februar 2017
- Erteilung
- 1. Februar 2017
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/32H05H1/46
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- H.E.F.
- Land
- 🇫🇷 Frankreich
Vertreten von
Thivillier, Patrick
Saint-Étienne, Frankreich
243
Patente gesamt
31
Fachgebiete
8
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
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Ipsilon
Ipsilon · Bourg-la-Reine
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Cabinet Laurent & Charras
Cabinet Laurent & Charras · Dardilly