Verfahren zum Prüfen von MEMS-Vorrichtungen

EP2202197 Art B1 5. März 2014

Anmelder: IMEC 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2202197
Aktenzeichen
EP09179359
Anmeldetag
15. Dezember 2009
Veröffentlichung
5. März 2014
Erteilung
5. März 2014
Rechtsraum
EP
IPC
B81C99/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
IMEC
Land
🇧🇪 Belgien
🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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