Fotoresistzusammensetzung mit chemischer Verstärkung, Fotoresistschichtlaminat, Verfahren zur Herstellung einer Fotoresistzusammensetzung, Verfahren zur Herstellung einer Fotoresiststruktur und Verfahren zur Herstellung eines Verbindungsanschlusses

EP2202579 Art A3 27. Oktober 2010

Anmelder: Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2202579
Aktenzeichen: EP10159910
Anmeldetag: 3. Dezember 2004
Veröffentlichung: 27. Oktober 2010
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/004G03F7/038G03F7/039

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Ohka Kogyo

Tokyo Ohka Kogyo (TOK) ist ein japanischer Chemiekonzern, der vor allem Fotolacke und Materialien für die Halbleiterfertigung herstellt. Das Portfolio konzentriert sich entsprechend auf Optik und Fototechnik sowie Halbleiter- und Bauelemente-Technik, ergänzt durch Kunststoff- und organische Chemie. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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