Beleuchtungssystem eines mikrolithographischen Projektionsbelichtungsgeräts
EP2202580
Art B1
22. Juni 2011
Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH, Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2202580
- Aktenzeichen
- EP08022311
- Anmeldetag
- 23. Dezember 2008
- Veröffentlichung
- 22. Juni 2011
- Erteilung
- 22. Juni 2011
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Carl Zeiss SMT GmbH
Carl Zeiss SMT AG - Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
1.949 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Schwanhäusser, Gernot
Stuttgart, Deutschland
171
Patente gesamt
25
Fachgebiete
7
Anmelder-Länder
Schwerpunkte