Anordnung von Mikrokavitäten-Plasmavorrichtungen mit Mikrokavitäten mit gekrümmten Seitenwänden und Verfahren zur Herstellung einer solchen Anordnung
EP2203940
Art B1
3. April 2013
Anmelder: The Board of Trustees of the University of Illinois, The Board Of Trustees Of The University Of Illinois 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2203940
- Aktenzeichen
- EP08841926
- Anmeldetag
- 27. Oktober 2008
- Veröffentlichung
- 3. April 2013
- Erteilung
- 3. April 2013
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J61/82H01J11/18H01J9/24C25D11/12C25D11/26
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- The Board of Trustees of the University of Illinois
The Board Of Trustees Of The University Of Illinois - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Board of Trustees of the University of Illinois
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