Magnetroneinheit, Magnetron-Sputtering-Vorrchtung und Verfahren zur Herstellung einer Elektronischen Vorrichtung

EP2204469 Art A1 7. Juli 2010

Anmelder: Canon Anelva Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2204469
Aktenzeichen: EP08843409
Anmeldetag: 30. Oktober 2008
Veröffentlichung: 7. Juli 2010
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/35C23C14/56H01J37/34

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Canon Anelva Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Canon Anelva

Canon Anelva ist ein japanischer Hersteller von Vakuum- und Beschichtungsanlagen für die Halbleiterindustrie und Teil des Canon-Konzerns. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie und Oberflächentechnik, ergänzt um Schaltungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2024 ab.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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