Lichtleitwertregelvorrichtung für einen gepulsten Strahl

EP2204695 Art B1 2. Januar 2019

Anmelder: ASML Holding N.V., ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2204695
Aktenzeichen
EP09175033
Anmeldetag
4. November 2009
Veröffentlichung
2. Januar 2019
Erteilung
2. Januar 2019
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/20G02B27/09G02B27/14G02B27/48H01S3/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
ASML Holding N.V.
ASML Netherlands B.V.
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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