Reaktivionenätzverfahren zum Ätzen von Metallen
EP2205775
Art A1
14. Juli 2010
Anmelder: Silverbrook Research Pty. Ltd 🇦🇺
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2205775
- Aktenzeichen
- EP07815243
- Anmeldetag
- 26. September 2007
- Veröffentlichung
- 14. Juli 2010
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23F1/12H01L21/306H01L21/3065
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Silverbrook Research Pty. Ltd
- Land
- 🇦🇺 Australien
🇦🇺
Silverbrook Research Pty Limited
Ehemaliges australisches Forschungsunternehmen für Tintenstrahldruck- und Sensortechnologien, mittlerweile inaktiv.
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Vertreten von
Keane, Paul Fachtna
Dublin, Irland
492
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30
Fachgebiete
16
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