CVD-Heizelementsystem
EP2208806
Art A1
21. Juli 2010
Anmelder: Canon Anelva Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2208806
- Aktenzeichen
- EP10003577
- Anmeldetag
- 14. November 2002
- Veröffentlichung
- 21. Juli 2010
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/46H01L21/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Canon Anelva Corporation
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Canon Anelva
Canon Anelva ist ein japanischer Hersteller von Vakuum- und Beschichtungsanlagen für die Halbleiterindustrie und Teil des Canon-Konzerns. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie und Oberflächentechnik, ergänzt um Schaltungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2024 ab.
421 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Whalley, Kevin
London, Großbritannien
1.154
Patente gesamt
30
Fachgebiete
8
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Schwerpunkte