Ladungsteilchenstrahlen-PVD-Vorrichtung, Abschirmungsvorrichtung, Beschichtungskammer zur Beschichtung von Substraten und Beschichtungsverfahren

EP2209132 Art A1 21. Juli 2010

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2209132
Aktenzeichen: EP09150786
Anmeldetag: 16. Januar 2009
Veröffentlichung: 21. Juli 2010
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/34

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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