Lithographische Vorrichtung

EP2210012 Art A1 28. Juli 2010

Anmelder: ASML Holding N.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2210012
Aktenzeichen
EP08850695
Anmeldetag
3. November 2008
Veröffentlichung
28. Juli 2010
Rechtsraum
EP
IPC
F16F9/06G02B7/02G03F7/20
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
ASML Holding N.V.
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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