Lithographische Elemente für den extrem-ultravioletten Bereich mit reduziertem Schlieren-Niveau

EP2211232 Art B1 2. September 2015

Anmelder: Corning Incorporated 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2211232
Aktenzeichen
EP10157436
Anmeldetag
4. März 2003
Veröffentlichung
2. September 2015
Erteilung
2. September 2015
Rechtsraum
EP
IPC
G03F1/24C03B19/14G03F7/20G01B11/16C03C3/06C03C4/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Corning Incorporated
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Corning

US-amerikanischer Technologiekonzern mit Sitz in Corning, New York. Corning ist spezialisiert auf Spezialglas, Keramik und optische Fasern für Displays, Telekommunikation, Automobiltechnik, Life Sciences und Umwelttechnik.

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