Teilchenoptische Komponente

EP2211368 Art B1 27. Juni 2012

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH, Applied Materials Israel, Ltd., Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2211368
Aktenzeichen: EP10003918
Anmeldetag: 28. November 2006
Veröffentlichung: 27. Juni 2012
Erteilung: 27. Juni 2012
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/145H01J37/141H01J37/28

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Carl Zeiss SMT GmbH
Applied Materials Israel, Ltd.
Carl Zeiss SMT AG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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