Verfahren zur Ablagerung von Boronverbindungen durch Chemische oder Physikalische Gasphasenabscheidung

EP2212445 Art A1 4. August 2010

Anmelder: L'Air Liquide Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2212445
Aktenzeichen
EP08853775
Anmeldetag
3. November 2008
Veröffentlichung
4. August 2010
Rechtsraum
EP
IPC
C23C16/24C23C16/28C23C16/40H01L31/18
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
L'Air Liquide Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 Air Liquide

Französischer Konzern für Industriegase und medizinische Gase, gegründet 1902 auf Basis des Luftverflüssigungsverfahrens von Georges Claude. Beliefert Industrie, Gesundheitswesen und Elektronikfertigung mit Gasen und Anlagentechnik.

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