Polarisator zur Kompensation von zeitabhänigen Polarisationsverteilung in der Beleuchtungseinheit
EP2212729
Art B9
21. Dezember 2016
Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH, Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2212729
- Aktenzeichen
- EP08851993
- Anmeldetag
- 18. November 2008
- Veröffentlichung
- 21. Dezember 2016
- Erteilung
- 21. Dezember 2016
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G02B5/30G02B1/08G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Carl Zeiss SMT GmbH
Carl Zeiss SMT AG - Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
1.949 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Frank, Hartmut
Mülheim a. d. Ruhr, Deutschland
103
Patente gesamt
19
Fachgebiete
3
Anmelder-Länder
Schwerpunkte