Verfahren und Vorrichtung zum Selektiven Ätzen
EP2212907
Art B1
18. Juni 2014
Anmelder: Institut Polytechnique de Grenoble, Université Joseph Fourier 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2212907
- Aktenzeichen
- EP08858110
- Anmeldetag
- 17. November 2008
- Veröffentlichung
- 18. Juni 2014
- Erteilung
- 18. Juni 2014
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/311H01L21/3213H01L21/306C23F1/08C23F1/18
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Institut Polytechnique de Grenoble
Université Joseph Fourier - Land
- 🇫🇷 Frankreich
🇫🇷
Institut Polytechnique de Grenoble
Französische Ingenieurhochschule (Grenoble INP) mit Forschungsschwerpunkten in Informatik, Elektrotechnik, Materialwissenschaften und Energietechnik.
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Vertreten von
Dossmann, Gérard
München, Deutschland
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