Vorrichtung zur Verhinderung von Streubeschichtung, Beschichtungskammervorrichtung zur Beschichtung von Substraten und Beschichtungsverfahren

EP2213765 Art A1 4. August 2010

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2213765
Aktenzeichen: EP09150785
Anmeldetag: 16. Januar 2009
Veröffentlichung: 4. August 2010
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/56C23C14/18H01J37/34H01J37/32C03C17/00C03C17/09C03C17/36H01L31/18H01L21/677

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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