Vorrichtung und Verfahren zur Nassbehandlung eines Peripheren Bereichs eines Waferförmigen Artikels
EP2215651
Art A1
11. August 2010
Anmelder: Lam Research AG 🇦🇹
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2215651
- Aktenzeichen
- EP08852012
- Anmeldetag
- 12. November 2008
- Veröffentlichung
- 11. August 2010
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Lam Research AG
- Land
- 🇦🇹 Österreich
🇺🇸
Lam Research
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
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Vertreten von
Kontrus, Gerhard
Villach, Österreich
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