Nadelkarte
EP2216655
Art A1
11. August 2010
Anmelder: Tokyo Electron Limited 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2216655
- Aktenzeichen
- EP08853954
- Anmeldetag
- 5. November 2008
- Veröffentlichung
- 11. August 2010
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01R1/073G01R1/44
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Tokyo Electron Limited
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Tokyo Electron
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.
2.414 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Weitzel, Wolfgang
Heidenheim, Deutschland
457
Patente gesamt
30
Fachgebiete
8
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